Page 86 - 理化检验-物理分册2023年第四期

高 尚, 等: 电子背散射衍射技术的撞屏失误和试样放置注意事项

快, 最终探测器的退回速率小于试样1边旋转边前 但是在菊池花样上也出现了一个坏点。
进的速率, 导致试样撞击了磷屏。损伤肉眼不可见,

图3 案例2中试样的移动位置示意

( 3 )从旋转和移动方面考虑。试样测试面需要
2 原因分析
正对磷屏, 有时需要将试样台旋转一定的角度。更
2.1 操作风险 换其他测试试样时, 也可能需要大范围的移动或旋
如前所述, 除探测器与试样较接近、 磷屏较脆弱 转。如果不及时退回探测器, 则撞屏的风险很大。
外, EBSD 测试中试样的放置也比较特殊, 这些都导 同时, 使用软件控制试样台的旋转和移动也

致 EBSD 测试中的风险点较多。 有潜在危险。当代扫描电镜普遍配备了自动马达
( 1 )从试样角度方面考虑。预倾台较高和试样 台和各种提高工作效率的软件, 拉平功能可以快

倾斜放置都会增加撞击物镜和磷屏的风险。另外, 速拉平试样的边缘, 使试样仍保持在视场中。在
试样如果固定不牢, 也会发生移动甚至掉落现象。 试样台移动速率很快时, 如果不事先预料移动方
( 2 )从测试条件方面考虑。试样的尺寸、 试样 位, 也会带来撞屏的风险。拉平功能导致的试样

或预倾台与物镜的距离、 试样或预倾台与磷屏的距 台移动方式如图 4 所示。案例 1 未考虑到拉平操
离、 九孔台的底座与磷屏的距离等因素都要注意, 以 作导致的额外水平移动, 而案例 2 错误地使用了
免试样放置和测试时碰撞磷屏。 从右往左的拉平操作。

图4 拉平功能导致的试样台移动方式示意

2.2 防撞功能 件造成的伤害。试样台连接5V 偏压的报警器, 腔
2.2.1 电镜碰撞报警 壁、 物镜和 EBSD 探测器等接地, 一旦试样与磷屏发
Crossbeam350 型双束电镜除提供光学 CCD 生接触就会触发报警, 试样台瞬间停止移动。在案
( 电荷耦合器件) 影像以实时观察试样和磷屏的相对 例1中, 当试样触碰磷屏时, 电流导通, 试样停止移
位置外, 还具有防撞保护功能, 减轻试样碰撞电镜部 动。在案例1中的碰撞瞬间, 电镜报警功能便瞬时
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