Page 87 - 理化检验-物理分册2023年第四期

高 尚, 等: 电子背散射衍射技术的撞屏失误和试样放置注意事项

启动, 及时阻止了试样对磷屏的进一步伤害。 距离, 再慢进探测器, 并仔细观察电镜的 CCD 影像,
电镜的防撞保护功能适用于金属试样。应注意 以防触碰。

的是, 在制作透射电镜试样时, 碰撞报警功能会被关 ( 3 ) EBSD 探测器的接近报警会干扰图像, 在
闭, 而在 EBSD 测试时, 需要确认碰撞报警功能未被 探测器进入完成后需关闭接近报警。在未将探测器
关闭。 退回到安全位置时, 谨慎或禁止使用大范围、 较高速
2.2.2 EBSD 探测器的接近报警系统 率移动和旋转操作, 如使用软件拉平和在较低倍数
EBSD 的接近报警系统能感知近处的试样移动 时进行 Shift+双击操作。在找寻目标区时, 最好只
并且迅速回避, 虽然这种功能可以避免或减轻碰撞 使用遥控手柄移动, 并仔细观察 CCD 的图像。案例
的伤害, 但是接近报警系统具有一些局限性。首先, 1就是在未退出探测器时就使用了旋转操作。

在磷屏距离试样较近时, 接近报警会干扰电镜图像 ( 4 )如果九孔台放置了多个待测样, 在更换试
的获取, 故在磷屏就位时需关闭接近报警; 其次, 对 样时, 推荐将探测器完全退回。建议使用 Ctrl+ 双
快速移动的试样或者侧向接近的试样, 尤其是使用 击左键来旋转试样。如果未完全退回探测器, 则使
程序控制试样台的移动或者试样侧向尺寸较大时, 用软件拉平功能存在风险。应谨慎使用拉平功能,
接近报警响应速率小于马达台的移动速率, 难以避 并只使用从左往右方向的拉平操作, 或使用遥控手
免磷屏被碰撞。在案例2中, 操作人员因不完全熟 柄的旋转功能。

悉电镜的拉平操作, 马达台出现预料外的大范围移 ( 5 )测试完成后, 第一时间退回 EBSD 探测器,
动, 加上磷屏未完全退回以及试样的特殊性, 即使有 再正常进行其他操作。
接近报警功能, 还是发生了撞屏。 4 结语
综上所述, 电镜和 EBSD 系统本身的保护机制
虽然有一定作用, 但是都难以避免磷屏被撞的风险。 EBSD 测试中的风险点较多, 在操作中除了谨
除了谨慎操作外, 切换试样时将磷屏完全撤出, 移动 慎外, 分析风险并提前预判也非常重要。同时, 马达
试样时谨慎使用软件控制方式都会降低磷屏被撞的 台执行地比较迅速, 使用时应当谨慎。如果测试次

风险。 数多, 对软件功能不熟以及不规范操作, 都会带来风
2.3 撞屏的影响 险甚至出现失误。通过对两次操作失误的分析, 可
通常使用 Hou g h变换识别出菊池花样中的条 知现代电镜系统中仍然存在各种风险, 如有不慎会
带, 并根据交角关系进行标定, 故个别的坏点不影响 出现撞屏的失误。操作人员要充分认识并且梳理这
花样的标 定。案 例 中 的 两 个 坏 点 较 小 且 未 妨 碍 些风险, 在操作时认真对待。除了注意防撞功能的
Hou g h变换和花样的准确标定, 在后续的更多测试 局限性外, 还需要对设备管理和软件、 硬件进行全面
中也未见异常。虽然损伤轻微, 但也应避免发生撞 理解。
屏, 越来越多的坏点肯定会影响花样的质量和标
参考文献:
定率。
以上两个案例说明: 马达台执行操作迅速, 使用 [ 1 ] 吴艳. 电子背散射衍射技术在IF 钢再结晶形核研究
时应当谨慎。不应盲信防碰功能, 操作人员应熟悉 中的应用[ J ] . 理化检验( 物理分册), 2014 , 50 ( 9 ):
每种操作的具体步骤, 并预见可能的风险, 才能降低 625-628.
[ 2 ] 杨平. 电子背散射衍射技术及其应用[ M ] . 北京: 冶金
失误的发生率。
工业出版社, 2007.
3 预防与改进措施 [ 3 ] 孙静, 刘向明, 王伟, 等. 低碳IF钢薄板纯铁素体组织
显示方法[ J ] . 理化检验( 物理分册), 2021 , 57 ( 9 ): 30-

( 1 )在进行 EBSD 表征之前, 先确保电镜的碰
33.
撞报警功能未关闭。 [ 4 ] 高尚, 杨振英, 马清. 扫描电镜与显微分析的原理、 技

( 2 )设置好电镜参数且已定位表征区域后, 再 术及进展[ M ] . 广州: 华南理工大学出版社, 2021.
让探测器进入。探测器进入时, 先设定一个进入的

7 1