Page 22 - 理化检验-物理分册2023年第二期

赵同新, 等: 电子探针显微分析仪状态检定方法及JJG901 — 1995的修订建议

为关注定量测试, 推荐使用加速电压为15kV , 束流 图4所示。

为20nA , 得到的结果更为合理, 如果测试项目中分 表1 放大倍数示值误差计算结果

析功能应用更为频繁, 则束流可上调到 100nA~ 长度
项目

300nA 。在观察软件界面下, Tools 菜单中选用 1次 2次 3次
Recorder功能, 可以方便地确认束流的波动情况。 标准值 / m 254.00 16.900 1.67
μ
实测值 / m 254.74 17.035 1.65
将测试条件调整为标准中的 25kV 、 10nA 、 μ
示值误差 / % -0.29 -0.79 1.21

60min和15kV 、 20nA 、 12h , 具体测试结果分别如

图4 不同测试条件的束流波动

根据记录获得束流初始值为10.0039nA , 最大 10nA , 选择一个标志性的点作为中心位置, 电子束

值为10.0115nA , 最小值为9.9906nA , 则束流稳 慢扫拍照[ 见图 5a )]; 等待 15min 后, 再慢扫拍照

定度为0.2089% 。 [ 见图5b )]。中心位置偏移距离为0.30 μ m , 则束斑

3.3 束斑的稳定度 稳定度为0.30 μ m 。
加速电压推荐为 15kV , 束流可使用标准的

图5 束斑稳定度测试结果
3.4 试样台的重复性 5000进行处理。结果如图6所示。

加速 电 压 为 15 kV , 束 流 为 10 nA , 使 用 该例中标记点间距为 0.15 μ m , 则试样台重复

backlash功能消除齿轮间隙, 移动一段距离消除齿 性为0.15 μ m 。
轮间隙后返回即可。可以直接测量数据, 无需除以

图6 试样台的重复性测试结果

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