Page 20 - 理化检验-物理分册2023年第二期

DOI : 10.11973 / lh jy -wl202302002

电子探针显微分析仪状态检定方法及

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JJG901 1995 的修订建议

赵同新 , 崔会杰 , 孙友宝 , 黄涛宏 1

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[ 1. 岛津企业管理( 中国) 有限公司 上海分析中心, 上海 200233 ;

2. 岛津企业管理( 中国) 有限公司 北京分析中心, 北京 100020 ]
摘 要: 以标准JJG901 — 1995和 GB / T15075 — 1994为指导,根据电子探针显微分析仪不同

分项的检定原则, 并结合其软件功能, 实现了分析仪便捷、 快速的状态检定; 探讨了JJG901 — 1995
标准中相对比较陈旧的流程和指标, 以及该标准中需要更新的方法和规范。结果可为操作人员掌

握电子探针显微分析仪的状态、 第三方计量机构的仪器检定工作和JJG901 — 1995的更新工作提
供参考。

关键词: 电子探针显微分析仪; 状态检定; 标准修订; 测试方法

中图分类号: TH83 ; TG115.2 文献标志码: A 文章编号: 1001-4012 ( 2023 ) 02-0004-05

Stateverificationmethodofelectronp robemicroanal y zerandsu gg estionsfor

revisionofstandardJJG901 1995
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ZHAOTon g xin , CUIHui j ie , SUNYoubao , HUANGTaohon g 1

[ 1.Shan g haiAnal y ticalA pp licationsCenter , SHIMADZU ( CHINA ) Co. , Ltd. , Shan g hai200233 , China ;

2.Bei j in gAnal y ticalA pp licationsCenter , SHIMADZU ( CHINA ) Co. , Ltd. , Bei j in g 100020 , China ]

Abstract : Guidedb ythestandardJJG901 — 1995andGB / T15075 — 1994 , accordin gtotheverification

p rinci p leofdifferentsub-itemsofelectronp robe microanal y zer , andcombined withitssoftwarefunction , the

convenientandfaststateverificationofelectronp robemicroanal y zerwasrealized.Therelativel yoldp rocessesand

indexesinJJG901 — 1995standardandthemethodsands p ecificationsthatneedtobeu p datedwerediscussed.The

resultscould p rovidereferenceforo p eratorstomasterthestatusoftheelectron p robemicroanal y zer , theinstrument

verificationworkofthethird- p art ymetrolo gy institutionandtheu p dateworkofJJG901 — 1995.

Ke y words : electronp robemicroanal y zer ; statusverification ; standardrevision ; testmethod

电子探针显微分析仪( EPMA ) 在科研及生产中 1995 , 但 GB / T15075 — 1994还有可取之处, 比如对背
应用广泛 [ 1-2 ] , 为了获得理想的测试结果, 需要定期 散射电子检测器分辨能力的测试是有参考价值的。
对仪器进行检定, 以确保仪器处于正确的工作状态。 笔者结合 EPMA 的发展现状, 探讨了仪器的检

由于 JJG901 — 1995 《 电 子 探 针 分 析 仪》 和 定方法, 可为操作人员掌握仪器状态、 第三方计量机

GB / T15075 — 1994 《 电子探针分析仪的检测方法》 很 构仪器检定工作和JJG901 — 1995标准的更新工作

久没有更新, 标准中部分测试指导原则已不再适用仪 提供参考。

器的发展现状。两个标准内容大同小异, 其中 GB / T
1 测试方法
15075 — 1994已 经 作 废, 现 行 标 准 只 有 JJG901 —
采用1720H 型 EMPA 进行测试。
测试标样为: 微距栅格标样; 金颗粒或锡球标
收稿日期: 2022-04-21
作者简介: 赵同新( 1983- ), 男, 本科, 工程师, 主要从事电子探 样; 铝、 碳、 硅、 铁纯物质标样; 合金标样; 矿物标样;
针微束分析及其在材料测试领域应用的研究工作, sshztx@shimad-
黄铜标样。这些标样均可在第三方计量检定机构购
zu.com.cn
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