Page 39 - 理化检验-物理分册2021年第二期
P. 39

DOI : 10.11973 / lh jy -wl202102005

                               电子探针线分析定量化方法对比





                                             于凤云,李春艳,刘晓英,邹龙江



                                        ( 大连理工大学 材料科学与工程学院,大连 116024 )
                    摘   要: 电子探针( EPMA ) 线分析定量化方法包括数据库法、 标准样品法、 待测样品两点法。利
                 用电子探针对电沉积 Fe-Zn合金进行线分析及定量点分析, 通过对比线分析定量化与定量点分析
                 的结果, 分析了定量化结果产生偏差的原因。结果表明: 数据库法定量化操作简单比较容易掌握,
                 且不受人为因素影响, 该结果可供参考。标准样品法定量化适用于主量元素, 而对于原子序数较小
                 的少量元素则会产生较大偏差。待测样品两点法考虑了待测样品的基体效应, 其定量化结果与定
                 量点分析结果吻合度高, 可作为线分析定量化的首选方法。


                    关键词: 电子探针;线分析;定量化;定量点分析


                    中图分类号: TG115    文献标志码: A    文章编号: 1001-4012 ( 2021 ) 02-0021-04

                         Com p arisononQ uantificationMethodsofLineAnal y sisof

                                          ElectronProbeMicroanal y zer

                                                                      ,
                                      YUFen gy un , LIChun y an , LIUXiao y in g ZOULon gj ian g

                     ( SchoolofMaterialsScienceandEn g ineerin g , DalianUniversit yofTechnolo gy , Dalian116024 , China )


                     Abstract : Theq uantification methodoflineanal y sisofelectron p robe microanal y zer ( EPMA ) include

                databasemethod , standardsam p le methodandtwo- p ointmethodforsam p letobetested.Thelineanal y sisand

                q uantitativep ointanal y sisofelectro-de p ositedFe-Znallo y werecarriedoutb yelectronp robe microanal y zer.B y

                com p arin g theresultsoflineanal y sisandq uantitativep ointanal y sis , thereasonsforthedeviationofq uantitative

                resultswereanal y zed.Theresultsshowthatthe q uantitativeo p erationofdatabasemethodwassim p leandeas y to

                 master , anditwasnotaffectedb yhumanfactors , theresultscanbeusedforreference.Thestandardsam p le

                 methodwassuitableforthema j orelements , butforthesmallamountofelementswithsmallatomicnumber , there

                willbealar g edeviation.Thematrixeffectofthesam p letobetestedwasconsideredinthetwo- p ointmethodfor

                sam p leto betested , andtheresultsoftheq uantitativeanal y sis werein g ooda g reement withthoseofthe

                q uantitativeanal y sis , soitcanbeusedasthep referredmethodforthe q uantificationoflineanal y sis.


                     Ke y words : electronp robemicroanal y zer ; lineanal y sis ; q uantification ; q uantitativep ointanal y sis

                电 子 探 针 ( electron p robe micro-anal y zer ,   置, 并使聚焦电子束在试样表面沿指定路径扫描, 可
            EPMA ) 采用波谱仪( WDS ) 测量入射电子与试样相                     定性获 得 待 测 元 素 在 扫 描 路 径 上 的 含 量 变 化 信
            互作用产生的特征 X 射线波峰的强度, 进而对试样                          息  [ 5-6 ] 。线分析定量化方法包括数据库法、 标准样品
            中的特定元素进行点、 线、 面分析             [ 1-4 ] 。目前电子探       法、 待测样品两点法。线分析定量化能够高效获得
            针最常用的功能包括定性半定量分析、 定量点分析、                           待测元素在某一直线方向上的含量变化, 在金属材
            定性线分析和面分析等。线分析通过确定待测元素                             料研究领域具有广泛的应用             [ 7-8 ] , 越来越多的学者开
            的特征 X 射线波长, 将波谱仪固定 在 相 应 测 量 位                     始关注线分析定量化的结果。目前, 线分析定量化
                                                               结果经常出现偏离真实含量值的现象, 对元素含量
                收稿日期: 2020-11-05
                                                               的准确分析造成困扰。笔者以电沉积 Fe-Zn合金薄
                项目基金: 大连理工大学设备维修基金( SYSWX201911 )
                作者简介: 于凤云( 1980- ), 女, 工程师, 主要从事电子探针在材         片为例, 分别采用数据库法、 标准样品法和待测样品
                                                               两点法对线分析进行定量化, 并与定量点分析结果
            料测试中的微区表征与应用研究, y uf y @dlut.edu.cncn
                                                                                                         2 1
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