Page 76 - 理化检验-物理分册2024年第十一期
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蒋蓉蓉，等：离子束抛光仪的维护保养
图 4 内圈口、韦氏帽基体微观形貌及韦氏帽污染物的 SEM 形貌
1.4 陶瓷环的维护和保养 1 000 ℃，保温1 h，可以有效清洁污染物，其原理是
陶瓷绝缘环的污染主要表现为环底部附着有黑 在高温下让金属铝充分蒸发，陶瓷绝缘环颜色会重
色污染物、环外壁发黄、绝缘性能下降等(见图5)。 新变白。但随着使用频次的增加，即使清洁过的陶
这些污染物主要是铝材质蒸镀黏附在陶瓷表面所 瓷环可能也会有整体发黄的趋势。需要注意的是，
致，导电的金属铝会破坏陶瓷环的绝缘性，随着陶 陶瓷绝缘环不能放入溶液里浸泡清洗，更不能放入
瓷环绝缘性能的下降，高电压运行时阴极和阳极有 超声波清洗仪中清洗，陶瓷属于脆性材料，超声清洗
被击穿的隐患。将陶瓷绝缘环在马弗炉中加热至 过程会造成陶瓷绝缘环碎裂。
图 5 不同状态陶瓷环的外观
1.5 阳极的维护和保养 凸起的大颗粒；对比圈口以外的其他部分，使用过的
阳极使用前后的宏观形貌和SEM形貌如图6所 阳极上沉积了大量呈龟裂状的污染物。
示。由图6可知：和未使用的阳极相比，使用过的阳 圈口边缘的沉积物不仅增大了圈口的厚度，减
极上沉积铝污染物为黑色，污染的主要区域为最内 小了阳极和陶瓷环之间的缝隙，而且沉积物厚度的
圈的圈口和内壁，污染物呈毛刺状；未使用过的阳极 不均匀性使得间距不一致，使用过程中会导致电压
圈口边缘平整，圈层厚度为391 μm，而使用过的阳 不稳定，严重影响了抛光效果和仪器的稳定运行。
极圈口上沉积明显，厚度达到了693 μm，且边缘有 可以先用粗砂纸研磨，去除大部分沉积层，再用细砂
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