Page 77 - 理化检验-物理分册2024年第十一期

蒋蓉蓉，等：离子束抛光仪的维护保养

图 6 阳极使用前后的宏观形貌和 SEM 形貌

纸将其打磨光滑。粗砂纸打磨引进的大划痕会加剧 两侧或者台子主体的背面。平面抛光台每次更换后，
沉积过程的不均匀，因此细砂纸抛光步骤不可省略。 会进行自检，如果自检时出现警报，表明试样台的旋
如果打磨效果不佳，应当更换新的阳极。 转和左右移动功能丧失其中一种或两种，很有可能
是马达故障，需要停机维修。
2 真空系统维护
断面切割台的挡板有两种类型，早期配备的为
抛光设备虽然整机体积较小，但为了保证良好 三角形挡板，后来升级为四边形挡板，每一条边可轮
的真空度，真空系统配备了一个分子泵和一个隔膜 流使用[见图7（a）]。图7（b）右侧的为使用过两条
泵。分子泵无需特殊的维护保养，而隔膜泵需要进 边的挡板，其中间位置不仅出现了明显的离子束轰
行定期的维护保养。当仪器运行满10 000 h时， 会有 击缺口，而且挡板临近两条边的表面区域也沉积了
报警提示，提醒使用者注意是否需要进行维护保养。 一层肉眼可见的沉积物。当缺口最深处厚度超过总
为了确认隔膜泵的工作状态，进入服务查看隔膜泵 厚度的一半时，需要更换挡板。3条离子束出射路径
的负载电流。在真空稳定之后，隔膜泵转速稳定在 尽头与试样台交界处的挡条也是耗材。随着使用时
9 000 r/min时，查看电流。如果电流大于500 mA， 间的延长，挡条上不仅沉积物越来越多，改变了挡条
则表示泵负载过大，需要进行维护保养，更换隔膜 原本的颜色，而且出现左、中、右3个明显的离子束
片。隔膜片既有良好的柔韧性，又有良好的耐腐蚀 轰击损伤区域[见图7（c）]。当最深的一处损伤区域
性能，其材料通常为聚四氟乙烯、橡胶等，为了防止 被穿透，须更换新的挡条，否则离子束将直接损伤试
膜片局部变形量过大，其两侧还配有网孔锅底状零 样台。
件；如果电流大于600 mA，则要马上停机，继续使用
4 常见问题及解决方法
将引起隔膜泵发生不可逆的损伤。
另外，日常要注意定期清理腔室和密封圈，密封 4.1 高压不稳定
圈上的一粒小碎屑就会影响真空度。 试验过程中经常会出现离子源无法加载到额定
高压，或者高压不稳定的情况，几分钟之后会自动
3 试样台维护 停止工作，并报警提醒电压不稳定需要检查。加压

试样台包括平面抛光台和断面切割台。台子拿 过程中，表现为电压无法加载到高电压，而电流显
取时，要注意避开上面的线缆和功能部件，双手紧握 示为5 mA（满载荷电流），如加速电压设定为5 kV，

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