Page 69 - 理化检验-物理分册2024年第十一期

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试验技术与方法 DOI:10.11973/lhjy-wl230309

硒化锌多晶陶瓷显微组织的显示方法

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邓巧娟 ，郭荣贵 ，王书明 ，邬小萍 ，杨飞宇 ，高飞虎 ，刘淑凤 1,2
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[1.国标（北京）检验认证有限公司，北京 101407；2.国家有色金属及电子材料分析测试中心，北京 101407]
摘 要：硒化锌多晶陶瓷是研发高性能光电子器件的关键原材料，对该陶瓷材料金相检验的
腐蚀方法进行研究，采用 60 mL浓硫酸+40 mL乙酸、20 mL HNO 3 +10 mL HF+20 mL水、5 g
FeCl 3 +50 mL浓盐酸+100 mL水、95 mL浓盐酸+5 mL H 2 O 2 、100 mL浓盐酸蒸汽腐蚀等方法对硒
化锌金相试样表面进行腐蚀。结果表明：采用100 mL浓盐酸蒸汽腐蚀硒化锌试样表面时获得的显
微组织晶界轮廓明显、晶粒形貌显示清晰，有利于开展硒化锌多晶陶瓷材料的显微组织均匀性分析、
晶粒度评定等工作。
关键词： 硒化锌陶瓷；腐蚀剂；金相检验；显微组织；晶粒度评定
中图分类号：TB31；TG113 文献标志码：A 文章编号：1001-4012(2024)11-0053-04

Display method of microstructure of zinc selenide polycrystalline ceramics

DENG Qiaojuan , GUO Ronggui , WANG Shuming , WU Xiaoping ,
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YANG Feiyu , GAO Feihu , LIU Shufeng 1,2
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[1. Guobiao (Beijing) Testing & Certification Co., Ltd., Beijing 101407, China;
2. National Nonferrous Metals and Electronic Materials Analysis and Testing Center, Beijing 101407, China]
Abstract: Zinc selenide polycrystalline ceramics were key raw materials for the development of high-performance
optoelectronic devices. The corrosion method for metallographic examination of this ceramic material was studied. The surface
of zinc selenide metallographic samples was corroded using methods such as 60 mL concentrated sulfuric acid+40 mL acetic
acid, 20 mL HNO +10 mL HF+20 mL water, 5 g FeCl +50 mL concentrated hydrochloric acid+100 mL water, 95 mL
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concentrated hydrochloric acid+5 mL H O , and 100 mL concentrated hydrochloric acid steam corrosion. The results show
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that the surface of zinc selenide samples were corroded by 100 mL concentrated hydrochloric acid steam, and the obtained
microstructure had clear grain boundary contours and clear grain morphology display, which was conducive to the analysis of
microstructure uniformity and grain size evaluation of zinc selenide polycrystalline ceramic materials.
Keywords: zinc selenide ceramic; corrosive agent; metallographic examination; microstructure; grain size assessment

硒化锌(ZnSe)陶瓷具有优异的中红外和远红外透 光二极管、蓝绿色半导体激光器及中红外激光器等
射率（0.5~22 μm） 、高折射率（2.3~2.5）和高非线性折 光电子器件上，以及光伏太阳能电池、生物医学标记
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射率（800 nm时非线性折射率为4×10 −14 cm /W）等 等方面具有很高的应用价值。
特点，为重要的红外光学材料 [1-2] 。ZnSe通常用于高 显微组织一方面记录了材料制备过程中的一些
分辨率红外热成像和“多光学复合”检测系统。同时，
关键信息，另一方面又在一定程度上决定了材料性
ZnSe作为一种重要的直接带隙Ⅱ-Ⅵ族半导体陶瓷
能的优劣 [5-6] 。金相检验是研究材料内部组织最直观、
材料，其禁带宽度为 2.6 eV [3-4] 。与CdS和CdSe等陶
高效的科学技术手段之一。无论是对硒化锌陶瓷材
瓷材料相比，硒化锌是一种低毒性半导体材料，在发
料制备过程中产生的分层、微裂纹、孔洞等显微缺陷
收稿日期：2023-11-09 的检测，还是对其组织均匀性分析、晶粒度评定工
基金项目：北京市科协金桥工程种子资金项目 作的开展，都极其依赖高质量的陶瓷材料金相检验
作者简介：邓巧娟（1991-） ，女，工程师，主要从事材料微观组
制样技术及组织显示技术 [7-8] 。迄今为止，针对硒化
织分析工作
通信作者：刘淑凤，liushufeng@gbtcgroup.com 锌多晶陶瓷材料的金相检验腐蚀方法国内外少有报
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