Page 46 - 理化检验-物理分册2024年第七期
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冯殿福，等：使用飞行时间二次离子质谱法判定痕量氧元素的测试方法
图 8 不同 Bi 离子源光阑下 Au 膜的深度剖析曲线
图 5 不同 Bi 离子源光阑下 YF 3 薄膜的深度剖析曲线
二次离子产额增加 1.4 倍，氧元素的离子产额并未
增加，说明 Au 膜中没有氧元素，检测到的氧元素
来自试验环境中残余的氧分子和水分子。
3 结论
采用改变分析离子源光阑大小的方法改变离
子束流，进而改变作用在试样表面的单位面积离
子剂量，对 CaF 2 晶体、YF 3 薄膜、Au 膜进行 ToF-
SIMS 测试。当离子束流增大时，CaF 2 晶体与 YF 3
薄膜的氟离子、氧离子产额均增加，表明 CaF 2 晶
体与 YF 3 薄膜中存在氧元素，测试结果与 CaF 2 的
图 6 YF 3 薄膜红外透过率光谱
紫外光谱测试结果和 YF 3 薄膜的红外光谱测试结
果相吻合。当离子束流增大时，金离子产额增加，
而氧离子产额无明显变化，说明检测到的氧元素
来自试验环境中的残余气体，Au 膜中不存在氧元
素。采用改变分析离子源光阑大小的方法改变分
析离子束流，对比不同离子束流下痕量氧离子的
产额变化，可以准确地判定试样中痕量氧元素是
否存在。
参考文献：
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