Page 24 - 理化检验-物理分册2023年第七期
P. 24
陈 茜, 等: 衬底对粉末试样能谱分析结果的影响
表1 与常见衬底元素谱峰重叠的元素
参考文献:
谱峰重叠
衬底 衬底元素 谱峰 谱峰重叠
衬底 元素特征 [ 1 ] 潘桂玲. 扫描电镜发射源的对比及其对图像质量影响
元素 特征 X 射 重叠 元素
元素 X 射线 的分析[ J ] . 电子显微学报, 2021 , 40 ( 6 ): 764-769.
线系 线能量 / keV 元素 线系
能量 / keV [ 2 ] 尚俊玲, 吴利翔. 加速电压及线系对钨在 SiC / W 扩散
偶中分布分析的影 响 [ J ] . 理 化 检 验 ( 物 理 分 册),
B K α 0.19
C K α 0.28
Ta M α 1.71 2021 , 57 ( 4 ): 34-38.
W M α 1.78 [ 3 ] 时巧翠, 严恺伦, 林顺雷, 等. 扫描电镜 / 能谱仪在刑事
Si K α 1.74
Sr L α 1.81 技术中的应用[ J ] . 实验室研究与探索, 2010 , 29 ( 10 ):
Al K α 1.49 Br K α 1.48
32-35.
Cu K α 8.04 Ta L α 8.14
[ 4 ] 高学平, 张爱敏. 扫描电镜能谱数据异常原因分析
Ti K α 4.51 Ba L α 4.47
[ J ] . 理化检验( 物理分册), 2020 , 56 ( 8 ): 13-15.
3 综合分析 [ 5 ] 冯岩青, 李智丽. 扫描电镜及能谱仪的主要功能开发
[ J ] . 包钢科技, 2008 , 34 ( 4 ): 93-95.
综上所述, 衬底对能谱分析结果有一定的影响,
[ 6 ] 柴晓燕, 米宏伟, 何传新. 扫描电子显微镜及 X 射线
尤其是面扫描分析结果, 主要原因为: 不同元素的特
能谱仪的原理与维护[ J ] . 自动化与仪器仪表, 2018
征 X 射线谱峰相近且有重叠, 当能谱的能量分辨率 ( 3 ): 192-194.
较低时, 谱峰重叠的元素难以进行区分, 如选择的衬 [ 7 ] 王志秀, 易文才. 散粉扫描电镜和能谱仪观察及成分
底与试样中的元素谱峰重叠, 很难获得理想的面扫 分析[ J ] . 广东化工, 2020 , 47 ( 16 ): 65-66.
描谱图。常用衬底为导电胶和硅片, 还可以选择铝 [ 8 ] 任小明. 扫描电镜 / 能谱原理及特殊分析技术[ M ] . 北
片、 双面铜胶、 钛片等金属片衬底。选择衬底时, 应 京: 化学工业出版社, 2020.
避开与试样中元素谱峰相近的衬底。选择合适的衬 [ 9 ] 陈胜.SEM-EDS技术在表面成分分析中的应用[ D ] .
杭州: 杭州电子科技大学, 2015.
底可以减少测试过程中的试错时间, 避免衬底元素
[ 10 ] 王雪珂.EDS分析的若干影响因素研究[ D ] . 成都: 电
对试样能谱分析结果产生影响。
子科技大学, 2017.
4 结论与建议 [ 11 ] 施明哲. 扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
[ M ] . 北京: 电子工业出版社, 2015.
当选择导电胶和硅片作为衬底时, 若试样中的 [ 12 ] 蔡志伟, 任小明, 禹宝军. 难检测样品的能谱分析技术
元素与衬底元素存在谱峰重叠现象, 会使面扫描谱 研究[ J ] . 电子显微学报, 2021 , 40 ( 1 ): 55-60.
图中元素亮点分布异常, 进而无法对试样进行面扫 [ 13 ] 孙秋香, 宋庆军, 卢慧粉, 等. 扫描电镜能谱仪谱峰鉴别
描分析。 方法[ J ] . 理化检验( 物理分册), 2018 , 54 ( 10 ): 754-756.
建议根据试样中的元素选择合适的衬底, 以获 [ 14 ] 冯善娥, 高伟建. 扫描电镜附 EDS能谱仪的使用与维
护[ J ] . 分析测试技术与仪器, 2014 , 20 ( 2 ): 115-117.
得理想的能谱分析结果。
( 上接第4页)
[ 7 ] 张倩玉, 秦志刚, 阎若思, 等. 剪切增稠液 / 纤维复合材 reinforcedcom p ositesatvar y in gstrainrates [ J ] .
料防弹性能的研究进展[ J ] . 纺织学报, 2021 , 42 ( 6 ): Com p ositeStructures , 2004 , 63 ( 3 / 4 ): 455-467.
180-188. [ 11 ] SHIM V , LIM C , FOO K.D y namic mechanical
[ 8 ] 李汶蔚, 梅杰, 黄威. 碳纤维增强复合材料层合板的抗 p ro p ertiesoffabricarmour [ J ] .InternationalJournal
冲击性能[ J ] . 高压物理学报, 2020 , 34 ( 2 ): 59-66. ofIm p actEn g ineerin g , 2001 , 25 ( 1 ): 1-15.
[ 9 ] 孙宝忠, 顾伯洪. 碳纤维高应变率拉伸破坏形态的应 [ 12 ] 朱德举, 张晓彤, 张怀安. 动态拉伸载荷下应变率和温
变率效应性质 [ J ] . 东 华 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版), 度对 Kevlar49芳纶纤维布增强环氧树脂复合材料力
2005 , 31 ( 1 ): 124-127. 学性能的影响[ J ] . 复合材料学报, 2016 , 33 ( 3 ): 459-
[ 10 ] OCHOLAR O , MARCUSK , NURICK G N , etal. 468.
Mechanical behaviour of g lass and carbon fibre
8
