Page 23 - 理化检验-物理分册2023年第七期

陈 茜, 等: 衬底对粉末试样能谱分析结果的影响

图2 试样的面扫描分析结果( 硅片衬底)
峰出现重 所示。由图3可知: 试样中 La 、 Eu 、 O 、 B 、 P等元素的亮
常现象; Si 元素的 K α 峰和 Sr元素的L α
叠现象, 很难分辨出 Sr元素和 Si元素。当试样中 点均在有试样的位置集中分布, 各元素的含量不同, Eu
含有特征 X 射线能量与 Si元素相近的元素时, 如 元素和B元素的含量较少, 有一定的噪声影响, 但仍可
Ta 、 W 、 Sr等元素, 应该避免使用硅片作为衬底。 见元素亮点集中分布的现象; Al 元素的 K α 峰与试样
2.1.3 Al 衬底 中6种元素均未发生谱峰重叠现象, 每种元素在单一
选用 Al 衬底对试样进行面扫描分析, 结果如图3 颗粒中均匀分布, 获得了理想的面扫描谱图。

图3 试样的面扫描分析结果( Al 衬底)
2.2 衬底对点扫描分析和线扫描分析结果的影响 析, 当试样尺寸较小时, 线状图中会出现衬底的特征
采用线扫描分析方法对金属镀层材料的切面、 峰位, 衬底对能谱分析结果的影响较大; 当试样尺寸
岩石材料的断层、 多层器件的截面等试样进行能谱 较大时, 线状图中未见衬底峰位, 衬底对能谱分析结
分析, 该类材料的尺寸较大, 衬底对能谱分析结果的 果的影响较小。与常见衬底元素谱峰重叠的元素如
影响较小。采用点扫描分析方法对试样进行能谱分 表1所示。
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