Page 48 - 理化检验-物理分册2021年第八期
P. 48

DOI : 10.11973 / lh jy -wl202108007

                参数设置对镁 / 铝合金电子探针面分析结果的影响




                                                 于凤云,刘晓英,李春艳



                                        ( 大连理工大学 材料科学与工程学院,大连 116024 )
                    摘   要: 简述了电子探针的部分工作原理, 研究了电子探针不同试验参数设置对镁、 铝合金样品
                 面分析结果的影响, 并分析了影响机理。结果表明: 镁合金样品表面有硬质凸起析出相时, 同一个
                 元素采用不同通道的多块晶体同时采集信号, 结果可靠性高; 铝合金中硼元素信号采集参数设置为
                Peak / BG 时结果的可靠性高但效率低, 设置为 Peak 时效率高但结果偶尔不可靠。
                         -

                    关键词: 电子探针;面分析;镁合金;铝合金

                    中图分类号: TG115    文献标志码: A    文章编号: 1001-4012 ( 2021 ) 08-0032-04

                     InfluenceofParametersSettin g ontheResultsofElectronProbe

                                        Ma pp in gAnal y sisofM g  AlAllo y


                                             YUFen gy un LIUXiao y in g  LIChun y an

                      SchoolofMaterialsScienceandEn g ineerin g  DalianUniversit yofTechnolo gy  Dalian116024 China


                     Abstract : The p artworkin gp rinci p leofelectronp rboemicroanal y zerwasbriefl y described.Theinfluenceof

                differenttestp arametersofelectronp rboe microanal y zeronthe ma pp in ganal y sisresultsof M g / Alallo y were

                studied , andtheinfluencemechanism wasanal y zed.Theresultsshowthatwhentherewerehardconvexp reci p itates

                onthesurfaceofM gallo y sam p les , theresultswerehi g hl yreliablewhenthesameelementusedmulti p lecr y stals

                withdifferentchannelstocollectsi g nalsatthesametime.Whenthesi g nalac q uisitionp arameterofBelementinthe

                                      -
                Alallo ywassettoPeak / BG , theresultswerereliablebuttheefficienc ywaslow , whilewhenitwassettoPeak ,

                theefficienc ywashi g hbuttheresultswereunreliableoccasionall y .


                     Ke y words : electronp robemicroanal y zer ; ma pp in ganal y sis ; M gallo y ; Alallo y

               电子探针面分析是将聚焦直径为 0.1~300 μ m                      关系。
            的高能电子束辐照样品表面, 然后通过波谱仪检测                                笔者通过 JXA-8530FPlus 型电子场发射电子
            元素在某一个特定区域的分布情况。电子探针面分                             探针对两种镁、 铝合金样品进行面分析, 研究电子探
            析可直观地显示合金表面元素的分布状态, 已经在                            针波谱仪面分析参数设置对面分析结果的影响, 并
            各个领域得到广泛应用            [ 1-4 ] 。稀土元素及其他微量           分析了影响机理, 以使电子探针面分析更好地在镁、
            元素加入镁、 铝合金中时, 可使其在成型过程中析出                          铝合金中得到应用。同时, 面分析参数设置方法可
            强化相, 从而提高材料的强度             [ 5-6 ] 。电子探针面分析        在测试其他合金时, 为同行提供参考。
            是镁、 铝合金研究中常用的分析方法, 主要用于分析
                                                              1  电子探针工作原理
            合金制备过程中添加的微量元素的分布情况, 进而
            掌握合 金 制 备 关 键 工 艺 参 数 的 临 界 值 及 其 匹 配                  电子探针的工作原理是将样品中激发的特征 X
                                                               射线经过一个晶面间距为 d 的分光晶体, 干涉分光
                                                               后通过 X 射线探测器接收此信号, 如图 1 所示。
                收稿日期: 2021-04-06
                基金项目:大 连 理 工 大 学 大 型 仪 器 设 备 维 修 基 金                                 R
                                                                                 L = nλ                   ( 1 )
            ( SYSWX202112 )                                                          d
                作者简介: 于凤云( 1980- ), 女, 工程师, 主要从事电子探针在材         式中: L 为测试点与分光晶体的距离; R 为罗兰圆半
                                                               径; d 为分光晶体的晶面间距; n 为整数; λ 为 X 射
            料测试中的微区表征工作, y uf y @dlut.edu.cn
             3 2
   43   44   45   46   47   48   49   50   51   52   53