Page 50 - 理化检验-物理分册2021年第四期
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DOI : 10.11973 / lh jy -wl202104009
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加速电压及线系对钨在 SiC W 扩散偶中分布分析的影响
尚俊玲 ,吴利翔 2
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( 1. 华南理工大学 材料科学与工程学院 实验中心,广州 510641 ; 2. 广东工业大学 机电工程学院,广州 510006 )
摘 要: 采用扫描电镜( SEM )、 能谱仪( EDS ) 分别在 10kV 和 20kV 加速电压下, 对 SiC / W 扩
散偶中钨元素的面分布和线分布进行了分析。结果表明: 在 10kV 加速电压下, 钨元素只能激发
出 M 线系, 钨元素的 M 线系和硅元素的 K 线系发生重叠, 从而导致材料中钨元素和硅元素在面分
布和线分布下无法区分。将加速电压从10kV 提高至20kV , 通过激发钨元素的 L 线系, 从而实现
了钨元素的分 布 表 征, 使 钨 元 素 分 布 趋 近 于 真 实 分 布 情 况。能 谱 数 据 再 处 理 也 进 一 步 验 证 了
10kV 加速电压下钨元素分布紊乱是由钨元素的 M 线系和硅元素的 K 线系重叠引起的。
关键词: 扫描电镜;能谱仪;加速电压;谱线;元素分布
中图分类号: TB79 ; TB333 文献标志码: A 文章编号: 1001-4012 ( 2021 ) 04-0034-05
EffectofAcceleratin gVolta g eandS p ectrumSeriesontheDistributionof
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WinSiC W DiffusionCou p le
SHANGJunlin g 1 , WULixian g 2
( 1.Ex p erimentalCenter , SchoolofMaterialScienceandEn g ineer , SouthChinaUniversit yofTechnolo gy ,
Guan g zhou510641 , China ;
2.SchoolofElectromechanicalEn g ineerin g , Guan g don gUniversit yofTechnolo gy , Guan g zhou510006 , China )
Abstract : Thesurface-distribution andline-distribution of W elementin SiC / W diffusion cou p le were
anal y zedunder10kVand20kVacceleratin gvolta g eb yusin gscannin gelectron microsco p e ( SEM ) andener gy
dis p ersives p ectrometer ( EDS ) .Theresultsshowthattheoverla pbetweentheMs p ectrumseriesofWelementand
Ks p ectrumseriesofSielementoccurredinthattherewasonl y theMs p ectrumseriesofWins p iredunder10kV
acceleratin gvolta g e.Obviousl y , itwasthereasonthatitisdifficulttodistin g uishbetween W andSielements
throu g hsurface-distributionandline-distributioninSiC / W diffusioncou p le.Whentheacceleratin gvolta g e was
increasedfrom10kVto20kV , thedistributionofWelementischaracterizedb y ins p iredtheLs p ectrumseriesof
W element , which madethedistributionof W elementclosetotherealdistribution.The EDS datafurther
confirmedthatthedisordereddistributionoftheWelementunderthe10kVacceleratedvolta g ewascausedb y the
overla pbetweentheMs p ectrumseriesofWelementandtheKs p ectrumseriesofSielement.
Ke y words : scannin gelectron microsco p e ; ener gydis p ersives p ectrometer ; acceleratin gvolta g e ; s p ectrum
series ; elementdistribution
能谱仪是扫描电镜的重要配件之一。能谱仪与 分析测试中 [ 1-2 ] 。
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与研究领域非常重要的仪器设备, 广泛应用于金属、 子相互作用, 使原子内层电子被电离, 产生空位; 较
陶瓷、 矿物、 水泥、 半导体、 纸张、 塑料、 刑侦案件等的 外层电子向内层空位跃迁, 放出特征 X 射线 [ 3 ] 。通
过探测样品产生的特征 X 射线的能量, 能谱仪就可
收稿日期: 2020-06-10 以确定其相对应的元素种类, 并对其进行定性、 定量
作者简介: 尚俊玲( 1977- ), 女, 副研究员, 主要从事试验室管理
分析。但在实际应用中, 受能谱仪分辨率以及元素
及测试技术等工作, j lshan g @scut.edu.cn
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