Page 74 - 理化检验-物理分册2021年第二期
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孙秋香, 等: 扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养


                                           表 1  扫描电镜辅助设备维护保养项目及注意事项

                      Tab 1 Themaintenance p ro j ectsandmattersneedin g attentionofscannin g electronmicrosco py auxiliar y e q ui p ment
                 设备名称                                       维护保养项目及注意事项
                                定期清除 UPS电源机内的积尘, 测量蓄电池组的电压, 检查风扇运转情况等
               UPS稳压电源           定期测试蓄电池的续航能力, 每 3~6 个月对 UPS中的蓄电池进行充放电, 延长电池寿命
                                 新购买的电池, 应先对电池充放电后方可投入使用, 以保证备用时间
                                循环水: 定期检查水位、 监测水压、 更换循环水, 定期清理水槽、 循环水路、 过滤器, 以防产生污垢造成设备故障
                冷却循环设备           制冷系统: 定期监测压力, 以确认是否需要添加冷却剂; 定期清洗散热片, 保证水冷设备的正常散热, 降低故障
                             率; 定期清洁冷凝器, 保证较好的制冷效果
                                对于含油机械泵, 需定期检查油位和泵油的颜色, 油位低需添加泵油, 油位超过最大标记, 表明有异物进入, 检
                             查油质, 根据情况放掉部分泵油或是更换新的泵油
                  机械泵            定期更换密封圈, 以防密封圈老化造成漏气
                                 定期清洁真空泵内的污垢和灰尘, 用压缩空气对风扇轮、 通风格栅、 冷却翅片、 风扇引擎罩进行清洁
                                 定期更换排气过滤器, 也可以用压缩空气清洁后再使用
                                每周检查机组有无异常声音和漏气, 检查压力表是否正常
                空气压缩机            每月检查机组是否有锈蚀、 松动, 以免锈蚀造成气路不通畅, 造成漏气
                                 定期排放冷凝水, 需要特别注意的是要定期排除气缸中的水, 以免造成气路潮湿, 引起机器内部的锈蚀


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                所有来稿经审稿合格后将以专题报道形式先后在《 理化                                                   2021 年 1 月 8 日








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