Page 72 - 理化检验-物理分册2021年第二期

DOI : 10.11973 / lh jy -wl202102013

扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养

孙秋香,卢慧粉,宋庆军,宋 鹏

( 济宁半导体及显示产品质量监督检验中心,济宁 272000 )
摘 要: 介绍了扫描电镜系统的各辅助设备常见的故障及解决办法。检验管理人员做好各辅助
设备的维护保养, 了解各设备的故障点, 能够快速、 低成本地解决故障问题, 有效保障测试工作的正
常进行。

关键词: 扫描电镜;辅助设备;故障分析;维护保养

中图分类号: TH89 文献标志码: A 文章编号: 1001-4012 ( 2021 ) 02-0054-03

FaultAnal y sisandMaintenanceofAuxiliar yE q ui p mentinScannin g

ElectronMicrosco py S y stem

,
SUNQ iuxian g LUHuifen , SONGQ in gj un , SONGPen g

( Jinin gCenterforQualit ySu p ervisionandIns p ectionofSemiconductor& Dis p la yProducts , Jinin g272000 , China )

Abstract : Thecommonfaultsandsolutionsoftheauxiliar ye q ui p mentofscannin gelectron microsco py

s y stem wereintroduced.Theins p ectionmana g ement p ersonnelshalldoag ood j obinthemaintenanceofauxiliar y

e q ui p ment , understandthefault p ointsofeache q ui p ment , canq uickl y solvethefault p roblemswithlowcost , and

effectivel yensurethenormalo p erationofthetestwork.

Ke y words : scannin gelectronmicrosco py ; auxiliar ye q ui p ment ; faultanal y sis ; maintenance
扫描电镜分析是现代分析测试技术中较为常用 时需配备不间断电源( UPS 电源)。一方面是在供
的分析手段, 用于研究各种材料的微观形貌 [ 1 ] 。扫描 电电压过大或太低时, 对设备提供保护, 同时当供电
电镜也是测试分析中投入比较大的仪器, 一旦出现故 中断时, UPS 电源中的蓄电池输出的直流电变换成
障, 不仅无法正常工作, 维修费用也是不可小觑的。 交流电持续给设备供电, 避免突然断电给设备造成
维持整个系统的正常运行, 要求使用者和管理者不仅 损害; 另一方面配备 UPS 电源可避免在检测过程中
要掌握设备的使用, 而且要掌握整个测试系统的组 造成试验中断导致数据不完整及数据结果的丢失。
成, 了解系统中每个辅助设备甚至各部件的作用与组 在正常工作中, UPS 电源相对来说不容易出现
成, 才能对运行过程中出现的问题、 故障进行分析处 故障, 但要特别关注电源中蓄电池的续航能力, 以免
理, 尽可能地节约时间、 降低维修成本, 保证系统的正 对设备造成不必要的损害。另外, UPS 电源中若出
常运行与测试。笔者在工作过程中总结了一些扫描 现故障, 现象是 UPS 电源无法启动, 往往从两方面
查找原因。首先查看保险丝, 若是保险丝烧坏, 更换
电镜系统中各辅助设备的故障分析及解决方法。
即可; 保险丝若没问题, 就要考虑控制部分, 即主电
1 扫描电镜系统中各辅助设备的故障分析 路板, 此时可用万用表查看电路板上是否有损害的
及解决方法 元器件, 与设备工程师沟通出现的问题故障, 分析查

1.1 不间断电源 找原因。对于使用者或管理者来说, 电路板出现故
障, 就需要专业人员来协助维修或更换 [ 2 ] 。
鉴于扫描电镜设备价格昂贵, 往往在安装使用
1.2 冷却循环设备
冷却水循环是扫描电镜系统中必不可少的, 主
收稿日期: 2020-03-17
作者简介: 孙秋香( 1984- ), 女, 高级工程师, 主要从事材料分析 要是用于冷却扫描电镜工作中的各部件, 如扫描电
镜镜筒过热将造成物镜过热, 会引起图像的漂移, 严
测试工作, s q x _ 123456@163.com
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