Page 19 - 理化检验-物理分册2025年第四期
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王 岩：工作参数对纸张类不导电试样扫描电镜图像质量的影响
图 2 不同束流下纸张试样的 SEM 形貌
2.3 工作距离对纸张SEM形貌的影响 作距离下纸张试样的SEM形貌如图3所示。由图3
工作距离是指物镜与试样间的距离，与SEM图像 可知：工作距离较小时，图像是平面的，缺乏立体感，
质量密切相关。减小工作距离可提高图像分辨率，适 受荷电效应影响较大；增大工作距离至20 mm时，图
合小尺寸试样的拍摄；对于表面凹凸不平的试样，通常 像亮度增大，立体感增强，从图像中能够清晰分辨纤
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选择较大的工作距离，以增大景深 。 维形态与填料的分布情况；增大工作距离至30 mm
设置加速电压为15 kV，束流为100 pA，不同工 后，图像亮度和清晰度均下降。
图 3 不同工作距离下纸张试样的 SEM 形貌
根据上述分析可知，对纸张类试样进行SEM低 这样得到的SEM图像立体感强、富有美感、受荷电
倍分析时，可将工作距离适当增大（设置为20 mm）， 效应影响较小。
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