Page 39 - 理化检验-物理分册2025年第三期

侯 瑶，等： X射线光电子能谱测试参数对CaF 2 氧元素含量测试结果的影响

14 25
0 s 348.1 eV 348.4 eV 0 s
12 50 s 50 s 685.1 eV
100 s 20 100 s
10 150 s 15 150 s
相对强度/(×10 4 ) 8 6 250 s 相对强度/(×10 4 ) 10 250 s
200 s
200 s

4
5
2
0 0
340 344 348 352 356 676 678 680 682 684 686 688 690 692 694 696
结合能/eV 结合能/eV
(a) Ca 2p能谱图 (b) F 1s能谱图
22
0 s O 1s(-OH)
50 s
20 100 s 531.8 eV
150 s
200 s
相对强度/(×10 3 ) 16 O 1s(O )
18
250 s
2
528.8 eV
14
12

524 526 528 530 532 534 536 538
结合能/eV
(c) P 1s能谱图
图 2 不同刻蚀时间 CaF 2 的能谱图
70 试样刻蚀30 s后的能谱图如图4所示，图4（a）显示
F
60 试样表面不存在氧元素或氧元素含量低于XPS检测
50 极限，因此可排除高纯氩气中混入氧气造成测试结
质量分数/% 40 果氧含量偏高的可能。
30
20 2.2 刻蚀后试样表面吸附时间对测试结果的影响
为获得刻蚀后试样表面吸附时间对氧含量测试
10
结果影响的普遍规律，在分析CaF 2 材料的基础上，
0 50 100 150 200 250 300
刻蚀时间/s 增加了对Al 2 O 3 试样的分析，以验证规律的准确性。
图 3 CaF 2 表面元素质量分数与刻蚀时间的关系 优质双面抛光Al 2 O 3 试样由上海光学精密机械研究

338 7
336 Ag 3d 5/2 Ag 3d 3/2
6 368.2 eV 374.2 eV
334
5
332
相对强度/(×10 2 ) 330 相对强度/(×10 5 ) 4 3
328
326
324
322 2 1
320
0
318
525 530 535 540 545 360 365 370 375 380
结合能/eV 结合能/eV
(a) O 1s精细谱 (b) Ag 3d精细谱
图 4 纯银试样刻蚀 30 s 后的能谱图

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