Page 34 - 理化检验-物理分册2024年第九期

曹艳芬，等：扫描电子显微镜用X射线能谱仪在定量分析中的应用

损伤。因此对不稳定试样进行EDS分析时，根据试 参考文献：
样特点可选择采用较低的加速电压（如10~15 kV）、
[1] 向诗银，杨水金．X射线光电子能谱在材料研究中的应
采用较大的电子束直径和小束流，以及缩短采集时
用[J]．湖北师范大学学报(自然科学版)，2017，37(1)：
间等方法。
88-92．
4.4 辨别和避免和峰的出现 [2] 高尚，黄梦诗，杨振英，等．扫描电镜中X射线能谱仪
和峰是因两个特征X射线光电子同时进入探测 的技术进展[J]．分析科学学报，2022，38(1)：115-121．
器无法分辨而产生两个特征X射线光子能量之和的 [3] 朱丹童．基于高分辨率扫描电镜和能谱仪页岩储层矿
假峰，和峰强度随计数率的增加而增大。和峰出现 物分析[J]．信息系统工程，2023(1)：89-91．
在元素能谱主峰的高能量侧，其能量为主峰的整数 [4] 谢金宏．904L不锈钢荒管开裂原因[J]．理化检验(物
倍。为了区分和峰，可以采用改变束流、束斑直径等 理分册)，2024，60(5)：39-41．
方法减小计数率，与高计数率的EDS进行对比，即 [5] 姜浩，陈茹，李颖，等．扫描电镜及能谱仪在一次性聚
可识别某一和峰。 丙烯餐盒安全性研究中的应用[J]．山东化工，2020，
49(17)：39-42．
4.5 出峰慢或不出峰问题
[6] 王雪珂．EDS分析的若干影响因素研究[D]．成都：电
在进行EDS分析时，有时候会遇到出峰很慢或
子科技大学，2017．
无法出峰的情况，可能与死时间过长或输入计数率
[7] 汪一聪，王丹，李嘉铭，等．扫描电镜条件对不导电样
过低有关。输入计数率会直接影响死时间的长短， 品表面荷电现象的影响[J]．广东化工，2022，49(11)：
计数率越高，死时间越长。 216-219．

5 结语 [8] 高学平，张爱敏．扫描电镜能谱数据异常原因分析[J]．
理化检验(物理分册)，2020，56(8)：13-15．
在进行EDS元素定量分析时，需要掌握X射线
[9] 邓刘敏，葛祥坤，范光，等．基于扫描电镜-能谱仪的矿
能谱仪定量的原理、软件处理方式、试样的选择方 物定量分析——以AMICS为例[J]．世界核地质科学，
法、采谱时定量分析条件等内容，并结合实际经验进 2023，40(1)：98-105．
行分析，研究结果可对从事微区定量分析的相关人 [10] 孙秋香，宋庆军，卢慧粉，等．扫描电镜能谱仪谱峰鉴别
员提供一定的参考。 方法[J]．理化检验(物理分册)，2018，54(10)：754-756．

18