Page 44 - 理化检验-物理分册2023年第十二期
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赵同新, 等: 热轧钢表面氧化铁皮状态的电子探针显微分析表征方法


                                                               的波长偏移量
                                                表2 Fe-L α  和 Fe- L β                                      nm
                                            氧化铁皮层                                    标准试样
                   项目
                                  外层          中间层          内层          Fe 2 O 3    Fe 3 O 4    FeO       Fe
                     偏移量
                Fe-L α          -0.0030      -0.0009      0.0003      -0.0030     -0.0008     0.0003     0
                Fe-L 偏移量        -0.0018      -0.0006      0.0006      -0.0021     -0.0006     0.0006     0






                   β
                                 /   比值法                                                                 强度
            2.5 元素 Fe特征峰L β L α                                系, 对比其峰形特征, 结果如图5所示, 计算L β
                 由于元素峰形形状和强度也可反映结合状态的                          与L α  强度的百分比, 结果如表4所示。
                                       /   比值法进行不同                 结果显示, 不同氧化铁皮层中物相与对应标准
            不同, 采用元素 Fe特征峰 L β L α
            氧元素含量的氧化铁类型鉴别, 也是目前应用最广                            试样中的L β L α    比值符合, 可以确认从外层至基体
                                                                         /
            泛的方法之一       [ 10 ] 。                              的氧 化 铁 皮 层 物 相 对 应 为 外 层 Fe 2O 3     、 中 间 层
                 使用相同的测试条件和状态分析测试方法, 分                        Fe 3O 4  和内层 FeO 。
            别测试不同标样和氧化铁皮各层中元素 Fe的L 线

















                                           图5 标准试样和不同层中 Fe元素的L 系峰形特征
                                                强度比值
                 表3 不同氧化层和标准试样 Fe-L β     与 Fe-L α       %     点的测试时间或增大电子激发束流。同时鉴于 L
                        氧化铁皮层                标准试样              线系峰位上的偏移问题, 使用特定的波长进行元素
              项目
                    外层    中间层    内层  Fe 2 O 3 Fe 3 O 4  FeO  Fe  面分析, 其结果可能会略有不同, 在此使用了较为稳
              比值    37     44    59    36   44    58   12      定的化合物 Fe 2O 3    的L β  和L α  的特征 X 射线波长
                                                               为测试峰位。 Fe元素L 线系面分布特征及对应的
                             /   比值面分布图像
            2.6 元素 Fe的L β L α                                   /
                                                              L β L α  分布如图6所示。
                 从激发效率和灵敏度方面考虑, 通常情况下使
                                                                   由图6可知: 虽然 L 线系的灵敏度不如主峰
            用的是主峰, 同种测试条件下, 主峰具有更高的计数
                                                                                       的面分布图像上, 根据颜
            强度。对应元素序数Z 来说, Z<32 , 一般使用特征                      K α , 但在 Fe元素L β   和L α
                                                               色变化和对应的色彩条上的值, 也能够得到氧化铁
                  ;                  ;                   。
            峰 K α 32≤Z≤72 , 使用L α Z>72 , 推荐使用 M α
                                                               皮多层的分布特征; 氧化铁皮各层物相L 线系比值
                                     进行元素面分布分析测
            定量面分析法使用主峰 K α
                                                               和表4符合。
            试, 其特征 X 射线来源于核外轨道 L 层电子向 K
            层空位跃迁的能极差。                                        3 结语
                L 线系的特征 X 射线来源于核外轨道 M 层电
            子向K 层空位跃迁。 Fe元素在与不同数量的 O 元                             通过岛津电子探针多种测试功能对氧化铁皮各
            素结合时, 会引起 M 层电子能级的轻微变化和电子                          层进行了表征。首先利用点定量分析可以确认各层
                                         比值的差异。根据              的物相分布; 利用定量面分布可以直观地显示元素
                                    与L α
            跃迁几率的不同, 导致L β
                                                               含量分布差异; 结合利用相分析功能可以标注出各
            这个差异, 尝试使用直观的面分析方法得到 Fe- L β
                     的面分布特征图像, 再计算两者的比值, 应                     层的物相; 研究 L 线系峰位偏移量和峰强度比值,
            和 Fe-L α
            该能够在比值上反映出物相分布特征。考虑到 L                             并与标准试样直接比较, 也可以确认元素的结合状
            线系激发效率的问题, 在元素面分析时, 需要延长每                          态; 除了常规默认的峰位, 其他线系也可进行元素面
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