Page 42 - 理化检验-物理分册2023年第一期

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writtenGLSembeddedwave g uidesandnano-scatterers

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用 FEIThemisZ 型双球差矫正 TEM 对制备

UltrashortBesselbeamp hotoinscri p tionofBra ggg ratin g
好的试样纳米孔附近组织进行观察, 结果如图7所
wave g uidesandtheira pp licationastem p eraturesensors
示。可见试样衬度均匀, 在高分辨模式下, 纳米孔附
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近组织可清晰呈现。说明制备的平面 TEM 试样厚
[ 7 ] ZHAGNG , CHENGG , BHUYAN M , etal.Efficient
度达到要求且损伤层很少。 p oint-b y - p ointBra ggg ratin g sfabricatedinembedded

laser-writtensilicawave g uidesusin gultrafastBessel

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在 U 型切割阶段将试样倾转 -10° , 可有效降
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低平面 TEM 试样另一侧的加工厚度, 使用低束流
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可快速将石英玻璃平面 TEM 试样从块体上分离出
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来, 并转移在铜网上。该方法为制备高硬度、 低导电
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性材料的平面 TEM 试样提供了技术参考。
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