Page 94 - 理化检验-物理分册2024年第八期

李君霞，等：JSM 6360型扫描电镜故障诊断与维护控制

（2）避免在真空下旋转z轴，这时阻力较大， z轴 以保证仪器的稳定性。定期更换试样室密封圈、真
卡簧易出现脱落故障。 空密封圈，提高真空度。
（3）固定z轴高度，避免更换试样时频繁调整z轴。 （3）JSM 6360型电镜或相近型号的电镜设备稳
1.4 加热器损坏故障 定，在科研院校、企业依然发挥着重要作用，所以坚
JSM 6360型扫描电镜开机后不能正常工作，出 持对电镜进行认真细致的维修和正确操作，并合理
现警告代码“DP HEATER FAULT”。 使用、精心维护，可防止零部件非正常磨损与损坏，
打开机器后盖，等扩散泵冷却到室温，拔下扩 延长修理间隔期，减少维修费用，保证仪器正常良好
运行。
散泵旁边的陶瓷插头，测量白色陶瓷插头的电压，为
100 V，测量拔下插头的另一端电阻，为0 Ω， 电镜正常 致谢：感谢扫描电镜维修技术工程师在日常测试、维
护以及解决故障方面给予的专业建议与指导！
工作，这个电阻是16 Ω，于是判断是加热器损坏故障。
更换加热器配件后问题得到解决。建议实验室 参考文献：
常备这个配件，在电工帮助下自行更换该配件。
[1] 王丹，孙峰，余红华，等．ZEISS ULTRA 55场发射扫
2 结语及建议 描电镜的使用及常见故障处理[J]．广东化工，2020，

（1）JSM 6360型扫描电镜的优势是可以实现从 47(11)：195-196．
[2] 张大同．扫描电镜与能谱仪分析技术[M]．广州：华南
低倍（15倍）到高倍的放大模式，这个型号或相近型
理工大学出版社，2009．
号电镜设备的x轴、 y轴设置在真空腔室之外，若x轴、
[3] 薛敏， 马赛，魏杰，等．蔡司场发射扫描电镜Sigma 500
y轴的马达不能自动旋转，在购买备件期间，可手动 真空系统故障与排除[J]．电子显微学报，2021，40(4)：
旋转轴，以不影响微观结构分析，具有效率高、稳定 479-482．
性高的优点。如果电镜设备的x轴、 y轴设置在真空 [4] 孙秋香，卢慧粉，宋庆军，等．扫描电镜系统辅助设
腔室之内，电镜就是一个整体。若x轴、 y轴马达损坏， 备的故障分析及维护保养[J]．理化检验(物理分册)，
2021，57(2)：54-56．
需停机购买马达备件，否则会影响设备使用效率。
[5] 李荣柱，姚素娟．JEM-2100 型透射电子显微镜的维
（2）仪器的稳定运行离不开专人专职管理，定期
护与故障清除[J]．理化检验(物理分册)，2012，48(7)：
更换电镜附属设备水冷机的循环水，用蒸馏水保证
454-456．
循环水的质量。建议定期更换物镜光阑，以提高电 [6] 张明珠，郝明欣，桑喆．玉米淀粉的扫描电镜分析方
镜图像的分辨率。定期更换机械泵油、机械泵滤芯， 法[J]．理化检验(物理分册)，2022，58(8)：21-24．

78