Page 92 - 理化检验-物理分册2024年第八期

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仪器研制 DOI:10.11973/lhjy-wl230214

JSM 6360 型扫描电镜故障诊断与维护控制

李君霞 ，段 锋 ，郑小平 2
1
1,2
［1.西安建筑科技大学 材料科学与工程学院，西安 710055；
2.濮阳濮耐高温材料 （集团）股份有限公司，濮阳 457100］

摘 要：利用JSM 6360型扫描电子显微镜配合能谱仪能较好地对材料进行微观结构与微区元素
分析。介绍了JSM 6360型扫描电镜的基本控制要点、日常故障分析与处理措施及维护创新点，分析
了对钨灯丝过早熔断、电镜x轴和y轴马达不旋转、 z轴旋转卡簧易脱落、加热器损坏等常见故障进
行快速处理的方法，结果可为同型号扫描电镜科研人员提供维修与维护方面的参考。
关键词： 扫描电子显微镜；故障诊段；维修维护；钨灯丝；磨损
中图分类号：TG115.21+5.6 文献标志码：A 文章编号：1001-4012(2024)08-0076-03

Fault diagnosis and maintenance control of JSM 6360 scanning
electron microscope

LI Junxia , DUAN Feng , ZHENG Xiaoping 2
1,2
1
［1.College of Materials Science and Engineering, Xi’an University of Architecture and Technology, Xi’an 710055, China;
2.Puyang Refractories Group Co., Ltd., Puyang 457100, China］
Abstract: JSM 6360 scanning electron microscope combined with energy dispersive spectrometer could better
analyze the microstructure and micro-element of the material. The basic control points, daily fault analysis and treatment
measures and maintenance innovation points of JSM 6360 scanning electron microscope were introduced. The methods of
rapid treatment of common faults such as premature fuse of tungsten filament, non-rotation of x-axis and y-axis motors of
electron microscope, easy shedding of z-axis rotating clip spring and damage of heater were analyzed. The results could
provide reference for maintenance and repair for researchers of the same type or scanning electron microscope.
Keywords: scanning electron microscope; fault diagnosis section; repair and maintenance; tungsten filament; wear

扫描电镜（SEM）是利用聚焦电子束在试样表 仪，将连接SEM控制系统软件的计算机更换为超宽
[1]
面逐点扫描成像的仪器 ，具有分辨率高、放大倍 屏显示器，因其可以实现高分辨、高质量图片拍摄，
率宽、三维立体效果好、试样制备简单、综合分析能 同时具有完善的测试功能,故使用频率一直较高。
力强、操作容易等特点,已成为生物学、材料学等自 笔者对JSM 6360型扫描电镜近几年出现的几类典
[2]
然科学领域的重要微观表征手段之一 。扫描电镜 型故障及排除方法进行了详细分析和描述,以供同
可以与X射线能谱仪、波谱仪,以及电子背散射衍 行交流。
射（EBSD）、聚焦离子束（FIB）等设备配合使用，广 1 常见故障处理与维护措施
泛用于科研院校研究与教学，以及企业的生产检测
1.1 钨灯丝故障与维护措施
[3]
中 。JSM 6360型扫描电镜原配置液氮制冷能谱仪，
1.1.1 钨灯丝过早熔断
后将其更新配置为Oxford Ultim Max型电制冷能谱
钨灯丝是JSM 6360型扫描电镜常用的耗材备
件，其正常使用寿命一般约为100 h，该SEM的钨灯
收稿日期：2023-08-03
丝在某段时间熔断频繁，寿命严重短于正常钨灯丝
作者简介：李君霞（1983-） ，女，工程师，硕士研究生，主要从事
的寿命，甚至刚换的灯丝就会立即熔断。
冶炼铜炉用耐火材料研究
通信作者：段 锋 （1970- ）, xjddf@163.com 钨灯丝过早熔断的期间，连接软件的SEM刚换
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