Page 93 - 理化检验-物理分册2024年第四期

孙秋香, 等: 扫描电镜故障分析与维修实例

的保险丝是 SEM 主机电源控制部分线路板上对应 2.3 故障排除

的保险丝, 主要用于保护电源控制系统中220V 交 将高压箱上的开关电源拆下, 首先查看保险丝,

流、 24V 直流的电路。具体电路为: 220V 的市电 发现保险丝已烧坏, 更换新的保险丝并通电后, 保险

输入, 通过一个220V 交流转24V 交流的隔离变压 丝还是立即烧坏, 说明开关电源上线路控制部分发

器, 再经过一个整流桥( 圆桥), 将交流24V 转为直 生短路现象, 属于开关电源内部故障。建议更换新

流24V , 最终输出直流24V , 为各个控制端的线路 的开关电源, 也可将有故障的开关电源送至专业的
板供电。在通电状态下, 用万用表检查, 发现隔离变 机构维修。考虑到时间成本的问题, 更换新的开关
压器上无24V 交流输出, 判定该隔离变压器损坏。 电源后, 故障得以解决, SEM 可正常工作。

1.3 故障排除 3 SEM 使用维护建议
该故障有两种解决方案, 考虑到线路板的布局
问题, 可以更换同种型号的隔离变压器; 若因设备陈 由以上两个维修实例可以看出: 两次故障出现
旧而难以购得同型号的配件, 可以考虑在 SEM 的 的原因均为电镜关机。 SEM 关机后, 当再次开机

220V 输入端接入一个220V 交流转24V 直流的 时, 开机的瞬间电压或电流对设备上的元器件造成

开关电源。具体连接方式为: 将开关电源220V 的 一定损伤, 容易出现开机失败的情况。作为设备管
输入端接入 SEM 上 220V 的一端, 将开关电源的 理员或测试人员, 做好电镜的日常维护是非常重要

输出端接到整流桥( 圆桥) 的正负端。更换新的隔离 的。一方面, 要确保 SEM 上的电压稳定、 纯净, 一
变压器或接入220V 交流转24V 直流的开关电源 般用 UPS即可解决; 另一方面, 在SEM 开机运行的

后, 故障得以解决, SEM 可以正常工作。 情况下, 减少开机、 关机的次数, 若供电不确定, 建议
配备小型发电机, 以免停电后再次开启时 SEM 出
2 高压系统故障与维修
现故障。
2.1 常见故障 4 结语
SEM 关机后正常开机, 烘烤完成后开启灯丝,
发现灯丝无法开启, 关机重启后该问题未能解决。 SEM 是大型的精密仪器, 在使用过程中会出现
2.2 故障原因分析和检查 各种故障, 这是不可避免的 [ 3 ] 。一旦出现故障, 切不

检查开机软件 EMServer , 发现高压箱未识别, 可急于动手, 盲目拆卸, 必须冷静思考, 与工程师沟
考虑是 SEM 高压箱处的问题。首先, 检查高压箱 通交流, 对故障进行分析, 确定发生故障的部位, 逐
上面的光纤, 经核查, 光纤有亮光, 说明光纤没有问 级检查, 找出故障点, 从而精准地给出解决方案, 排
题; 其次, 在通电状态下, 检查高压上电源输入部分 除故障, 让设备快速地恢复正常工作。
有没有220V 的电压输入, 经万用表核查, 高压箱处

参考文献:
有220V 的电压输入; 另外, 查看高压箱的直流输入

部分, 在通电状态下, 用万用表检查高压箱供电的开 [ 1 ] 孙秋香, 卢慧粉, 宋庆军, 等. 扫描电镜系统辅助设备

关电源, 发现开关电源上有 220V 的输入, 但没有 的故障分析及维护保养[ J ] . 理化检验( 物理分册),

24V 的输出, 也就是说高压箱上没有电压输入, 造 2021 , 57 ( 2 ): 54-56.

[ 2 ] 姚丽娟, 龙伟, 靳长清, 等.Quanta400F 扫描电子显
成灯丝无法开启。若开关电源有220V 的输入, 也
微镜的故障分析与保养维护[ J ] . 理化检验( 物理分

有24V 的输出, 说明是高压箱内部的问题, 高压箱
册), 2017 , 53 ( 2 ): 120-122.
是集成在 SEM 主机上的, 测试人员没有办法将其
[ 3 ] 杨世柏.H-800型电镜真空系统故障部位判定和维
拆开, 需请专业的技术人员来解决。
修[ J ] . 分析测试技术与仪器, 1994 ( 3 ): 35-40.

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