Page 92 - 理化检验-物理分册2024年第四期

DOI : 10.11973 / lh jy -wl202404019

扫描电镜故障分析与维修实例

孙秋香, 卢慧粉, 宋 鹏, 李丹丹
( 济宁市质量计量检验检测研究院, 济宁 272000 )

摘 要: 针对场发射扫描电镜实际使用中出现的故障问题, 详细分析了故障产生的原因, 并结合
实际给出了该扫描电镜故障解决方案。结果表明: 两次出现故障的主要原因是当扫描电镜关机后,
再次开机时, 开机的瞬间电压或电流对设备上的元器件造成一定损伤, 最终导致扫描电镜开机失
败。结果可为测试人员提供有力的技术支持。

关键词: 扫描电镜; 故障; 瞬间电压; 电源控制系统; 高压系统

中图分类号: TH89 ; TB30 文献标志码: A 文章编号: 1001-4012 ( 2024 ) 04-0076-02

Scannin g electronmicrosco p efailureanal y sisandmaintenanceexam p les

,
,
SUNQ iuxian g LUHuifen , SONGPen g LIDandan

( Jinin g InstituteofQualit y& Metrolo gy Ins p ection , Jinin g 272000 , China )

Abstract : Aimin g atthefailure p roblemsintheactualuseoffieldemissionscannin g electronmicrosco p e , the

causesoft hefailurewereanal y zedindetail , andthesolutiontothefailureofthescannin g electronmicrosco p ewas

g ivenincombinationwiththeactualsituation.Theresultsshowthatthemainreasonforthetwofailureswasthat

whenthescannin g electronmicrosco p ewasturnedoffandturnedona g ain , theinstantaneousvolta g eorcurrentof

thebootcausedsomedama g etothecom p onentsonthee q ui p ment , whicheventuall yledtothefailureofthe

scannin g electronmicrosco p eboot.Theresultscouldp rovidestron g technicalsu pp ortforthetesters.

Ke y words : scannin g electronmicrosco p e ; failure ; instantaneousvolta g e ; p owercontrols y stem ; hi g hvolta g e

s y stem
扫描电镜( SEM ) 测试分析是现代分析测试技
术中较为常用的分析方法, 可用于表征各种材料的 1 电源控制系统故障与维修
微观形貌, 扫描电镜如果出现问题或故障, 就无法正 1.1 常见故障
常工作, 且维修成本也很高 [ 1 ] 。多数情况下, 对扫描 扫描电镜停机后, 再开机运行一段时间, 直到
电镜出现的故障进行细致检查后, 只要通过简单的 SEM 停止工作, 检查其他设备, 发现空压机、 水冷
维修即可解决故障问题 [ 2 ] 。在设备出现故障后, 设 机、 机械泵等均可正常工作, 按下重启键后 SEM 没
备管理员或测试人员要先与设备厂家工程师沟通交 有任何反应, SEM 各指示灯均不亮, 在通电状态下
流, 确认故障点, 逐级检查, 以解决一些简单的故障 检查 SEM 后面的电源输入、 输出部分, 从 UPS ( 不
问题。这样既能加深人员对设备的了解, 也能节省 间断电源) 过来的输入端电压为220V , 但电镜主机

大量的维修费用和缩短维修时间。笔者针对场发射 上的输出端( 通过 SEM 给其他附件供电的一端) 没
扫描电镜实际使用中出现的故障问题, 详细分析了 有220V 的电压输出, 说明 SEM 主机上的电源控

故障产生的原因, 并结合实际给出了该扫描电镜的 制部分出现故障。
故障解决方案。 1.2 故障原因分析和检查
在断电状态下, 检查 SEM 主机后面盖板上的
收稿日期: 2023-06-05
一排保险丝, 用万用表检查每根保险丝的通断状态,
作者简介: 孙秋香( 1984- ), 女, 高级工程师, 主要从事各种材料
经检查, 发现标号为 F15 的保险丝已烧坏, 更换新
的表面形貌、 晶体结构、 化学分析等测试分析工作, s q x _ 123456@
的保险丝后, 故障问题仍然没有解决。标号为 F15
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