Page 45 - 理化检验-物理分册2022年第二期
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刘向明, 等: 白光干涉测量法在波纹度指标检测中的应用
方法的检测结果无明显差异, 一致性较好。采用非
接触式白光干涉法检测波纹度具有有效性。
4 结语
( 1 )采用白光干涉法检测波纹度指标时, 只要
识别零级条纹就可得到零光程差位置。
( 2 )镜头的移动可带动零级条纹的上下移动,
从而对试样表面进行扫描, 将扫描结果进行叠加可
获得试样的表面轮廓信息。
( 3 )一次多项式处理可消除水平方向的不确定
度。利用高斯滤波器进行低通滤波, 可去除样品在
宏观上的几何形状误差对检测结果造成的影响; 利
用高斯滤波器进行高通滤波, 可去除 1 mm 以下短
波部分的细微轮廓, 得到波纹度轮廓。
( 4 )采用t 检验分析白光干涉测量法及接触式
分析过程曲线
图 3 镀锌板表面波纹度 W sa
1-5 测量法的检测数据, 结果显示白光干涉法测量波纹
为x 方向轮廓曲线的纵坐标。 度具有有效性。
计算出波纹度为 0.149 μ m 。为验证白光干涉
参考文献:
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